在X熒光光譜儀的分析工作中，諸多因素會對分析精度產生顯著影響，準確把握這些因素并采取有效措施減小誤差至關重要。
樣品本身特性是影響X熒光分析儀分析精度的重要因素之一。樣品表面光潔度不佳時，粗糙的表面會使X射線散射增強，導致特征X射線的強度減弱，進而使檢測結果偏低。樣品的均勻度也十分關鍵，若樣品內部成分分布不均，不同部位的元素含量存在差異，那么所測結果就無法準確代表樣品的真實成分。此外，顆粒大小對分析結果也有影響，過大的顆粒會使X射線在樣品中的穿透深度和散射情況發生改變，影響特征X射線的產生和檢測。
環境因素同樣不可忽視。溫度變化會對儀器的性能產生影響，高溫可能導致儀器元件的熱膨脹，改變X射線的發射和接收路徑，使測量結果出現偏差。濕度過高時，樣品表面可能會吸附水分，水分中的氫、氧等元素會對其他元素的檢測產生干擾，影響分析精度。
基體效應也是影響X熒光光譜儀分析精度的重要因素。樣品中不同元素之間會相互影響，例如一種元素的吸收會減少其他元素特征X射線的發射，導致檢測結果不準確。
為了減小這些因素帶來的誤差，需要采取一系列有效措施。在制樣方面，要對樣品進行精細處理，保證樣品表面光潔、均勻，顆粒大小符合要求。可以通過研磨、壓片等操作來改善樣品狀態。同時，要合理繪制校準曲線，選擇與待測樣品基體匹配的標準樣品，準確測量標準樣品的熒光強度并繪制曲線，利用該曲線對未知樣品進行定量分析，從而減小基體效應等因素帶來的誤差，提高X熒光光譜儀的分析精度。